螺旋穴絶縁パイプ（半導体製造装置・人工衛星用）｜カワソーテクセル株式会社【設計開発型ものづくり企業、セラミックスと金属の接合・電力資機材メーカー】

プロセスガス導入時の放電発生抑制に最適!

セラミックスに螺旋穴を加工したタイプの絶縁パイプです。ガス流路を螺旋形状にすることで、直線的な放電を抑制することができます。

装置内の省スペース化に寄与

単なるストレートパイプ仕様とは異なり、全長は同じでも絶縁距離をより長く確保することができます。

応用例

・半導体製造装置（スパッタ・CVD装置）
・人工衛星用のイオンスラスター

各種プロセスガスの使用に最適な「螺旋穴絶縁パイプ」を、ぜひお試しください。

詳しくは動画をご覧ください!

型番	L	φD1	φD2	φD3	図面
CB-HE-1/8	70	φ20	φ1/8inch	φ1.74
CB-HE-1/4	90	φ20	φ1/4inch	φ4.35

※内部螺旋穴流路の長さ：約190mm
※カスタム仕様につきましては、材質・サイズをお聞かせ下さい。
※チューブ外径のサイズの変換につきましては、
　inch・mmへの変換ユニオンを用意しています。

標準仕様品からの選択ができない場合は、カスタムオーダーでの製作もできます。
ご希望の形状・寸法に基づき、最適な設計を提案します。

パイプ材質：SUS304、SUS316

サイズ（mm）
φD1	L1	L2
φ10～	35～	7～

カワソーテクセルは陶磁器製造を原点とするセラミックス・金属の気密接合専門メーカーです。