カワソーテクセルは陶磁器製造を原点とするセラミックス・金属の気密接合専門メーカーです。

展示会情報
メタライズ(セラミックスと金属の接合)製品
HOME > 製品情報 > メタライズ(セラミックスと金属の接合)製品 > 螺旋穴絶縁パイプ(スパッタ装置・CVD装置用)

螺旋穴絶縁パイプ

螺旋穴絶縁パイプ

流路イメージ図

流路イメージ図



プロセスガス導入時の放電発生抑制に最適!
セラミックスに螺旋穴を加工したタイプの絶縁パイプです。
螺旋形状にすることで、直線的な放電の発生を抑制することができます。
また、単なるストレートパイプ仕様とは異なり、全長は同じでも絶縁距離をより長く確保することができます。

特長
  • 電極間の距離、ガス流路距離を長くすることによる、放電発生の抑制。
  • 絶縁距離の確保により、装置の省スペース化に寄与。
  • エッチング・成膜用のプラズマ処理装置およびCVD装置・スパッタ装置などに採用。

各種プロセスガスの使用に最適な、螺旋穴絶縁パイプを是非お試しください。

断面

断面


標準仕様品

特性
  • 気密性:1.0×10-10Pa·m³/sec以下
  • 流路長:約190o

標準螺旋穴絶縁パイプ(1/8inch:70L・1/4inch:90L)

外形図
L φD1 φD2 φD3 図面
70 φ20 φ1/8inch φ1.74 PDF
90 φ20 φ1/4inch φ4.35 PDF

※内部螺旋穴流路の長さ:約190mm
※カスタム仕様につきましては、材質・サイズをお聞かせ下さい。
※チューブ外径のサイズの変換につきましては、
 inch・mmへの変換ユニオンを用意しています。


価格・納期についての問い合わせ先はこちら


カスタムオーダー螺旋穴絶縁パイプ

標準仕様品からの選択ができない場合は、カスタムオーダーでの製作もできます。
ご希望の形状・寸法に基づき、最適な設計を提案します。

外形図

パイプ材質:SUS304、SUS316

サイズ(mm)
φD1 L1 L2
φ10〜 35〜 7〜

ページトップへ