流路イメージ図
プロセスガス導入時の放電発生抑制に最適!
セラミックスに螺旋穴を加工したタイプの絶縁パイプです。
螺旋形状にすることで、直線的な放電の発生を抑制することができます。
また、単なるストレートパイプ仕様とは異なり、全長は同じでも絶縁距離をより長く確保することができます。
特長
- 電極間の距離、ガス流路距離を長くすることによる、放電発生の抑制。
- 絶縁距離の確保により、装置の省スペース化に寄与。
- エッチング・成膜用のプラズマ処理装置およびCVD装置・スパッタ装置などに採用。
各種プロセスガスの使用に最適な、螺旋穴絶縁パイプを是非お試しください。
標準仕様品
特性
- 気密性:1.0×10-10Pa·m³/sec以下
- 流路長:約190o
標準螺旋穴絶縁パイプ(1/8inch:70L・1/4inch:90L)
L |
φD1 |
φD2 |
φD3 |
図面 |
70 |
φ20 |
φ1/8inch |
φ1.74 |
|
90 |
φ20 |
φ1/4inch |
φ4.35 |
|
※内部螺旋穴流路の長さ:約190mm
※カスタム仕様につきましては、材質・サイズをお聞かせ下さい。
※チューブ外径のサイズの変換につきましては、
inch・mmへの変換ユニオンを用意しています。
カスタムオーダー螺旋穴絶縁パイプ
標準仕様品からの選択ができない場合は、カスタムオーダーでの製作もできます。
ご希望の形状・寸法に基づき、最適な設計を提案します。
パイプ材質:SUS304、SUS316
サイズ(mm) |
φD1 |
L1 |
L2 |
φ10〜 |
35〜 |
7〜 |