カワソーテクセル株式会社

セラミックスや非金属材料と金属材料は接合性が非常に悪く、それは互いに結晶構造が異なるからです。

それらを強固に、そして高気密に接合するためには、セラミックスや非金属材料の表面を金属化し、金属材料同士の接合に切り替えることが必要となります。通常、このセラミックスや非金属材料表面を金属化することをメタライジングと呼び、その良否が接合性に大きく影響します。

当社のメタライズ法は独自に開発した融解チタンの反応を利用した“融解チタンメタライズ法”です。

電子･光学･医療･輸送など多方面の産業機器において、計測・制御・作動用のデバイスに新素材が多く採用されようとしています。これらの材料を用いた新しい接合部材の開発導入を検討される際にも、是非当社にお任せください。

融解チタンメタライズ法の接合例と用途

カワソーテクセルの「融解チタンメタライズ法」は、セラミックスの表面にチタンベースの金属ペーストを塗布し、高温真空下で処理することにより、チタンがセラミックス中に拡散、あるいはセラミックスと反応し、セラミックスの表面に金属層を形成させます。

メタライズ後、めっき処理を施し、ろう付（主にBAg-8）によりコバール（Fe-Ni-Co合金）やFe-Ni合金と接合できます。

ヘリウムガスリーク量で1.3×10^-10Pa・m³/sec以下を保証します。活性金属ろう材をセラミックスと被接合材料との間に挿入し、1回の加熱処理で接合させる「直接ろう付法」とは異なり、より信頼性の高い気密接合が可能です。

カワソーテクセルでは従来「活性金属メタライズ法」と表記していましたが、直接ろう付法である「活性金属法」と名称がまぎらわしく、接合の信頼が異なるため反応に即した名称「融解チタンメタライズ法」に改めました。

セラミックスと金属の接合工程

アルミナの純度によらず安定した接合が可能です。99%アルミナ、またアルミナ単結晶のサファイアへも安定した接合ができます。

活性金属(Ti)の反応性を活かし、アルミナ以外の材質でもメタライズ加工が可能です。アルミナ以外のセラミックス、窓材などご希望の材質の接合もご相談ください。

純水に対する高い耐食性があります。Mo-Mn法は、純水にMoが溶出し接合部から漏水する事例が報告されています。当社の融解チタンメタライズ法は、問題となる接合部の金属溶出がなく、20年以上前から純水に接する部品に使用され、接合部位からの水漏れは発生していません。

結露環境下においても強く、極低温や高湿度等の環境下で接合部に水滴がつくような場合に最適です。高い耐食性を発揮し、長期信頼性を向上させます。

真空中1,000℃以下で熱処理します。Mo-Mn法は一般的に1,400℃程度で熱処理しますので、省エネルギーなメタライズ法です。

Fe-Ni-Co合金やFe-Ni合金だけでなく、銅やアルミなどとのろう付も可能です。

左の写真2枚はそれぞれメタライズ接合部のセラミック分布、メタライズペーストのチタン分布を示しています。この2枚の写真を重ね合わせてみるとセラミック中にチタンがしっかりと拡散していることが分かります。

熱膨張率の異なるセラミックスと金属の気密接合にはノウハウがあります。技術的な問題の解決、ご要望製品の開発をワンストップで行います。

メタライズ製品とは

電流導入端子

ご要望の高い電流導入端子をラインアップし、必要に応じて真空フランジへの溶接、付属部品の溶接やろう付にも対応しています。導体の材質や寸法などの変更も可能です。
特注品も得意としており、ご使用される環境や取り付ける条件(制約)などをご連絡頂ければ、最適な電流導入端子のご提案をさせていただきます。

電流導入端子シリーズの製品ページへ

絶縁継手

真空フランジやベローズへの溶接もご相談ください。
ご使用される環境や取り付ける条件（制約）などをご連絡頂ければ、最適な絶縁継手のご提案をさせていただきます。

絶縁継手シリーズの製品ページへ

絶縁パイプ

当社のメタライズは、純水に対する耐食性に優れています。
パイプの材質は、銅・ステンレス・コバール・チタンに対応しています。非磁性対材料もご相談ください。

絶縁パイプシリーズの製品ページへ

特殊電流導入端子

ヒーター用・高周波用・熱電対用・水冷用など特殊電流導入端子の製作も行なっています。

特殊電流導入端子のページへ

サファイア窓

超高真空用ビューイングポートをはじめ、紫外線・赤外線の透過用窓の製作も行なっています。各種真空フランジへのろう付や溶接にも対応しています。非磁性材料とサファイアの接合もご相談ください。

サファイア窓シリーズの製品ページへ

接合事例

カワソーテクセルが今までに取り組んできた接合事例を紹介しています。

接合事例のページへ